榨汁網廠家萝卜视频在线观看告訴您濕式蝕刻的優缺點

榨汁網廠家同（tóng）進告訴您濕（shī）式蝕刻的優缺點（diǎn）
    低成本、高（gāo）可靠性、高產能及優越的蝕刻（kè）選擇比。但相（xiàng）對於幹式蝕刻，除了無法定義較細（xì）的線寬外，濕式蝕刻仍有以下（xià）的缺點：1) 需花費較高成本的反應（yīng）溶液及去離子水（shuǐ）；2) 化學藥品（pǐn）處理時人員所遭遇的安全問題；3) 光阻附著性問題；4) 氣泡形成及化學蝕刻液無法完（wán）全（quán）與晶圓表麵接觸（chù）所造成的不完全及不均勻的蝕刻；5) 廢氣及（jí）潛（qián）在的爆炸性（xìng）。
濕式（shì）蝕刻過程可分為三個步驟：1) 化學（xué）蝕（shí）刻（kè）液擴散至待蝕刻材料之表麵；2) 蝕刻（kè）液（yè）與待（dài）蝕刻材料發生（shēng）化學反應； 3) 反應後之產物從（cóng）蝕刻（kè）材料之表麵（miàn）擴散（sàn）至溶液中，並隨溶（róng）液排出   (3)。三個步驟中進行最慢者為速率控製步驟，也就是說該步驟的反應速（sù）率即為整（zhěng）個反應之速率。

    大部（bù）份的蝕刻過程包含了一個或多個（gè）化學反應（yīng）步驟，各種形態的反應都有可能發生，但常（cháng）遇到的反應是將待蝕刻層表麵先予以氧化，再將（jiāng）此氧化層溶解，並隨溶液排出，如此反複（fù）進行以達到蝕刻的效果。如蝕刻矽（guī）、鋁時即（jí）是利用此種化（huà）學反（fǎn）應（yīng）方式。