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在蝕刻加工(gōng)的工藝(yì)中,除不經任何防蝕處理的整體蝕刻方法外(wài),都必(bì)須要注意防蝕層下蝕刻的“蔓延”問題,也就是我們常說的側腐蝕。側腐蝕的大(dà)小(xiǎo)直接關係到(dào)圖文的精度和蝕刻線條(tiáo)的極限尺(chǐ)寸。通常把防(fáng)蝕層下的水平方向的蝕刻(kè)寬度 稱為側蝕量,側蝕量 與蝕刻(kè)深度 的比(bǐ)值就是側蝕率 :
式中:
以上有關圓弧蝕刻窗口的最小寬度與蝕刻深度的比值、蝕刻液的組成、蝕刻方法(fǎ)及材料種類等的影響較大。側蝕刻的量(liàng)決(jué)定了化學蝕刻的精(jīng)度,側蝕量越(yuè)小,加工的精度越高,適(shì)用的範圍就越寬,反之,加工的精度低,適(shì)用範圍小。
側蝕量的大(dà)小主要受(shòu)金屬(shǔ)材料(liào)的影(yǐng)響,在常用的幾種金屬材料中,以銅的側蝕量最小,鋁的側蝕量最大。選擇更為優越的蝕刻劑,雖然蝕刻的(de)速度(dù)提高並不明(míng)顯,但的確可改善金屬蝕刻(kè)加工(gōng)的側蝕量。